בקרת תהליך ב×מצעות צב"ד פרמטרי
חברת CSTM ×”× ×“×¡×”
קרדיט: יובל שרון
25 ×‘× ×•×‘×ž×‘×¨ 2012
מ×ת: יובל שרון CTO - חברת CSTM ×”× ×“×¡×”
Website: www.cstm.co.il,
Email: yuval@cstm.co.il
תקציר
המ×מר מצביע על כך שלבדיקה פרמטרית סיסטמ×טית
של תהליך ייצור יש ×™×ª×¨×•× ×•×ª ×ž×”×•×ª×™×™× ×”×‘××™× ×œ×™×“×™ ביטוי בעיקר ×‘×ž×¦×‘×™× ×©×”×ª×”×œ×™×š ××™× ×• סגור (× ×¡×’×¨ תוך כדי ×ª× ×•×¢×”)
על המחבר
יובל משמש ×› CTO ב CSTM - חברת ×”× ×“×¡×” המתמחה בביצוע ×¤×¨×•×™×™×§×˜×™× ×ž×©×•×œ×‘×™ ×ופטיקה מכ×× ×™×§×” ו××œ×§×˜×¨×•× ×™×§×”.
יובל החל ×ת דרכו המקצועית ×‘×©× ×ª 1983,
וביצע תפקידי ×ž× ×”×œ מחקר ופיתוח ×•×ž× ×”×œ פרוייקט בתעשיה. יובל מחזיק תו×ר ×©× ×™
בפיסיקה שימושית מה××•× ×™×‘×¨×¡×™×˜×” העברית (1992) ותו×ר ר×שון ב×לקטרו×ופטיקה ממכון לב (1984).
צב"ד פרמטרי ייעודי
×‘× ×™×’×•×“ לצב"ד הבוחן מעבר סף (Go-NoGo), צב"ד פרמטרי
× ×•×ª×Ÿ תוצ×ות כמותיות המתייחסות לרמת ×יכות התוצר ×”× ×‘×“×§, ובכך מ×פשר:
• לעקוב ×חר התפלגות ×¤×¨×ž×˜×¨×™× ×”×ž××¤×™×™× ×™× ×ת התהליך לצורך × ×™×ª×•×— CPK ול SPC
• לעקוב ×חר ×”×ª× ×™×™×“×•×ª × ×§×•×“×ª העבודה של התהליך ×¢× ×”×–×ž×Ÿ
• למיין ×ת תוצרת התהליך (Grouping)
• לייצר משוב לייצוב התהליך על פי ×יכות התוצר עצמו (×•×œ× ×¢×œ פי ×¤×¨×ž×˜×¨×™× ×—×™×¦×•× ×™×™×)
× ×™×ª×Ÿ להגדיר צב"ד פרמטרי כצב"ד בעל המ××¤×™×™× ×™× ×”×‘××™×:
1. יכולת
דגימת מספר ×¤×¨×ž×˜×¨×™× ×‘×• ×–×ž× ×™×ª - הסיבה לכך ×”×™× ×” שלרוב ×ין ×™×•×“×¢×™× ×‘×‘×¨×•×¨ ×ž×”× ×”×¤×¨×ž×˜×¨×™× ×”××™×›×•×ª×™×™× ×œ×‘×§×¨×ª תהליך, וכ×שר
מתבצעת רכישה של ×¤×¨×ž×˜×¨×™× ×‘×©×œ×‘ הדגימה × ×™×ª×Ÿ לרוב חלץ ×ž×ž× ×” מספר ×¤×¨×ž×˜×¨×™× ×שר ×חד ×ž×”× ×¢×©×•×™ להתגלות כפרמטר יעיל יותר.
לדוגמ×: ×× ×ž×ª×¢× ×™×™× ×™× ×‘×חידות ת×ורה בשדה ר××™×” של מצלמה, × ×™×ª×Ÿ להגדיר ×¤×¨×ž×˜×¨×™× ×›×’×•×Ÿ:
סטיית תקן בין 4 ×”×¤×™× ×•×ª, הפרש בין ממוצע ×רבעת ×”×¤×™× ×•×ª והמרכז, הפרש בין ×ž×›×¡×™×ž×•× ×œ×ž×™× ×™×ž×•× ×”×ª×ורה בכל השדה.
×“×•×’×ž× × ×•×¡×¤×ª: ×× ×ž×ª×¢× ×™×™× ×™× ×‘×¡×˜×™×™×ª תי××•× ×›×•×•× ×•×ª
×•×ž×•×“×“×™× ×¡×˜×™×™×ª דמות על מישור הגל××™, × ×™×ª×Ÿ להתייחס ×œ×¤×¨×ž×˜×¨×™× ×›×’×•×Ÿ: סטיה ×œ×™× ×™×רית של הגל××™ שעל מישור המוקד
(למרות שה×ופטיקה מתו×מת), סטיות זויתיות בשלושה ×¦×™×¨×™× ×‘×™×Ÿ הציר ×”×ופטי לציר המכ×× ×™, רמת עקמומיות קו ישר.
2. × ×ª×™× ×ª משוב ישיר למיון ×”×ª×•×¦×¨×™× ×”× ×‘×“×§×™× ×œ×§×‘×•×¦×•×ª - משוב ×–×”
יכול לשמש ×œ×”×›× ×ª דבוקות לשלב ×”×‘× ×‘×ª×”×œ×™×š,
×ו לצורך פסילת ×—×œ×§×™× ×ž×œ×”×›× ×¡ לשלב התהליך הב×, ×ו לשיוך למכלול תו×× (MATCHING).
ככלל, קיבוץ ×ª×•×¦×¨×™× ×œ×§×‘×•×¦×•×ª (Binning, Grouping) תמיד ישפר ×ת ×”×ª× ×•×‘×” (Yield) הסופית של התהליך.
3. ייצור LOG תוצ×ות - לעבודה OFFLINE של ×ž×”× ×“×¡ התהליך, ולמעקב.
4. יכולת בדיקה עצמית - ×פשרת ביצוע בדיקה עצמית (Built In Test)
פשוטה על ידי ×‘×—×™× ×ª דוגמיות הידועות ×›×ª×§×™× ×•×ª (Golden Samples)
בקרת תהליך ייצור ב×מצעות צב"ד פרמטרי
צב"ד פרמטרי מהווה כלי עבודה ממדרגה ר××©×•× ×” עבור ×ž×”× ×“×¡ התהליך ×•×ž×”× ×“×¡ ×” QA ×”×חר××™× ×¢×œ ×”×ª× ×•×‘×” (Yield),
ומ×פשר ×œ×”× ×œ×‘×¦×¢ ×ת הפעילויות הב×ות:
• חקר ×”× ×§×•×“×•×ª בהן × ×™×ª×Ÿ לשפר ×ת התהליך - על ידי ביצוע ×©×™× ×•×™ ×™×™×–×•× ×‘×ª×”×œ×™×š ×•×‘×—×™× ×” סיסטמטית של התוצ××”. המתקבלת.
• ×יתור × ×§×•×“×ª עבודה רובסטית ×ופטימ×לית ומעקב ×חריה
• חקר כשל - ×”×× × ×™×ª×Ÿ ×”×™×” ל×תר התדרדרות הדרגתית ב×מצעות ×”×¤×¨×ž×˜×¨×™× ×©× ×‘×—×¨×•.
• מעקב ×™×™×–×•× - מעקב ×™×™×–×•× ×חר ×”×ª× ×™×™×“×•×ª פרמטרי תהליך,
מ×פשר לגלות ×ž×•×§×“× ×—×•×¡×¨ יציבות בתהליך המתבט×ת במספר תתי-×ª×”×œ×™×›×™× ×ž×§×‘×™×œ×™×™×.
×“×•×’×ž× ×œ×‘×¢×™×” תהליכית ××•×¤×™×™× ×™×ª ×©× ×¤×ª×¨×” על ידי צב"ד פרמטרי
לצורך מעקב תהליך הזרקה והרכבה של מצלמה זעירה,
× ×‘× ×” מתקן מדידה פרמטרי המבצע בדיקה סופית של ת××•× ×”×¦×™×¨ ×ופטי לציר מכ×× ×™.
זויות העילרוד Pitch, והגילגול Tilt של המצלמה, × ×ž×“×“×•×ª בדיוק של 0.25 מילירדי×ן.
זויות ×לו חשובות ×ž×‘×—×™× ×ª ×יכות המוצר הסופי, ולכן × ×¢×¨×š ×¢×œ×™×”× ×ž×¢×§×‘.
הצב"ד כלל מטרה ×שר ביחס ×ליה מוגדרת הבדיקה:
• זוית ×” Tilt ×”×™× ×” זוית הסיבוב של דמות המטרה סביב הציר ×”×ופטי יחסית למיקומה הרצוי.
• זוית ×” Pitch ×”×™× ×” התזוזה ×”×œ×™× ×™×רית של דמות המטרה בכיוון ×× ×›×™, יחסית למיקומה הרצוי.
תוצ×ות גולמיות של מדידת זויות עילרוד וגילגול עבור מספר רב של מצלמות ×©× ×ž×“×“×• בעזרת הצב"ד, מוצגות להלן ×‘×ª×ž×•× ×” 1:
×ª×ž×•× ×” 1: תוצ×ות בדיקת Boresight ×œ×‘×—×™× ×ª ת××•× ×¦×™×¨ ×ופטי וציר מכ×× ×™ במצלמות
התוצ×ות בכחול הן התוצ×ות הגולמיות, והתוצ×ות ב××“×•× ×•×‘×™×¨×•×§ מציגות היסטוגרמות של זויות העלרוד והגילגול בהת×מה.
מהתוצ×ות רו××™× ×©×”×¡×˜×•×’×¨×ž×•×ª ×לו קרובות להיות של עקומת פעמון כצפוי, כן ×× ×• רו××™× ×©×”×¡×˜×•×’×¨×ž×ª העילרוד פחות ×¤×¢×ž×•× ×™×ª,
ו××™× ×” ממורכזת כזו של הגילגול, ולכן הוחלט שהגילגול ×”×•× ×¤×¨×ž×˜×¨ ×יכותי ויש לעקוב ×חריו.
×ª×ž×•× ×” 2: צב"ד פרמטרי מספק תוצ×ות כמותיות ×שר × ×™×ª×Ÿ להסיק מהן תוצ×ות על יציבות התהליך
חיפוש × ×§×•×“×ª עבודה יציבה לתהליך גילה מצב בו × ×¨××” שהייצור × ×›× ×¡ לחוסר יציבות:
התגלה פיצול תהליכי בפרמטר הגילגול (ר××” ×ª×ž×•× ×” 2) ×©×”×ª×‘×˜× ×‘×©×ª×™ עקומות פעמון זו על גבי זו. תגלית זו הצביעה על כך
שתהליך ההזרקה עלול ×œ×”×ª× ×“× ×“ בין ×©× ×™ מצבי×. גילוי הסיבה שגרמה לפיצול התהליך והתגברות עליה – הגדילה ×ת ×”×ª× ×•×‘×” (Yield).
עוד ב×לקטרו×ופטיקה
עוד חדשות