ראיון מיוחד עם גבי זליגסון מנכ"ל חברת נובה מדידות

מערכות מטראולוגיה לשוק המוליכים למחצה

מאת חיים חן: כתב אופלי.

חברת נובה מכשירי מדידה הממוקמת בפארק במדע ברחובות עוסקת במחקר, פיתוח, ייצור ושיווק של מערכות מדידה ומטראולוגיה לבקרת תהליכים. המערכות יכולות להשתלב כחלק ממערכות בקרה, או כמערכות stand alone.
גבי זליגסון משמש כמנכ'ל החברה.

מה אופי הפעילות של חברת נובה?
נובה מכשירי מדידה עוסקת בפיתוח, ייצור ושיווק של ציוד ייחודי בתחום תעשיית המוליכים למחצה אשר משפר משמעותית את תהליכי הייצור של רכיבי מיקרו-אלקטרוניקה מתקדמים. הטכנולוגיה הייחודית של נובה מאפשרת ליצרני המוליכים לבצע את המדידות תוך כדי תהליך הייצור, ואף לקבל היזון חוזר לתיקון התהליך במהלך הייצור.

'ההמצאה הגדולה' של חברת נובה היא מזעור של מכונות מטרולוגיה לגודל של קופסא קטנה כך שניתן יהיה להכניס אותה לתוך מכונות הציוד עצמם (Integrated Metrology).

תהליך ייצור המוליך למחצה נעשה על וופר (Wafer). הוופר עובר הרבה מאוד שלבים במהלך הייצור כגון דפוזציה קרי בנייה של שכבות על גבי הוופר, הקרנה של אור בתהליך פוטוליתוגרפיה, ליטוש בכדי להשטיח את המשטח, הפצצת יונים וכדומה. בתוך התהליך ובין השלבים השונים נדרש לבצע מדידות ובדיקות בכדי לראות איפה אתה נמצא יחסית לאיפה אתה צריך להיות.
ההמצאה של חברת נובה היא לקחת מכונות בגודל של חדר ולמזער אותם לקופסא בגודל של 30X30 ס"מ כך שניתן יהיה להכניס אותם לתוך מכונות הייצור עצמם כחלק אינטגרלי מתהליך הייצור ולבצע את המדידות באופן מהיר ומדויק מאוד. בעוד שהשיטה הקלאסית שקיימת היום היא לעשות זאת באמצעות מכונות עצמאיות (Stand Alone) שבודקות את איכות היצור של הוופרים באופן מדגמי מתוך הוופרים המיוצרים. הבדיקה היא מדגמית בכדי שלא לעכב את תהליך היצור בו גורם הזמן הוא מאוד קריטי בשוק המוליכים למחצה המאוד תחרותי כיום.
בנוסף פיתחנו בחברת נובה אלגוריתמיקה חכמה וייחודית לשליטה ובקרה של התהליכים שהזכרנו לעיל בזמן אמת.

תוכל לפרט קצת על הטכנולוגיות בחברת נובה.
הטכנולוגיה העיקרית שבה אנחנו משתמשים כיום מבוססת על תחום מחקר הנקרא ספקטרופוטומטריה.
בספקטרופוטומטריה ניתן לקבל את הספקטרום הנפלט מהחומר הנבדק באמצעות הקרנה של אור על גבי החומר וממנו ללמוד על אופי החומר, הרכבו וכדומה.
חלק מהיכולות שלנו שהתפתחו מאוד בשנים האחרונות הם זיהוי תבניות: Pattern Recognition. באמצעות טכנולוגיות של עיבוד תמונה מתקדמות, אלגוריתמיקה מאוד חכמה המאפשרת לתרגם אותות של ספקטרופוטומטריה לנתונים ממשיים כגון מימדים וגדלים בוופר הנבדק ברמות של ננומטרים.



ספר לי על אחד מהפרויקטים הבולטים שלכם כיום?
יש לנו כיום שיתוף פעולה עם אחת מחברות הזיכרונות הגדולה בעולם. במהלך הייצור בשלב של תהליך הפוטוליתוגרפיה הם נדרשים לבצע מדידות מאוד מרוכבות על הוופרים ובין השאר מדידות תלת מימד לתוך הוופר עצמו בערכים מאוד קטנים, סדרי גודל של ננומטרים. כיום מאוד קשה טכנולוגית לבצע מדידות אלו ואנחנו באמצעות שיטה למדידת קווים על גבי הוופר הנקראת Optical Critical Dimensions: OCD מסייעים להם לבצע מדידות אלו.

מי הלקוחות העיקריים של החברה?
לחברת נובה יש נוכחות מדהימה בשוק. יותר מ-80 אחוז מיצרני המוליכים למחצה בעולם הם לקוחות של נובה ובניהם עשרת השחקנים הגדולים בשוק המוליכים למחצה. החברה נמצאת כמעט בכל מקום בעולם: אסיה אירופה וארה"ב. חלק מהמכירה נעשה באמצעות מכירה חוזרת מה שנקרא OEM: Original Equipment Manufacturer קרי הציוד נמכר לחברה אחרת בשוק, המשתמשת במוצרים שלנו כדי להרכיב מוצר המשווק תחת שמה.



כמה עובדים מונה החברה?
החברה היא חברה גלובלית המונה 280 עובדים בכל העולם. בישראל יש כ-170 עובדים כאשר ישנם ארבע חברות בנות בכל העולם (אסיה, יפן, ארה"ב ואירופה). חברות הבת בעולם מבצעות את פעילות השיווק, מכירות, שירות ותמיכה. הפעילות העיקרית של החברה בישראל היא פעילות המו"פ והייצור.