נובה פורצת את גבולות המדידה התלת מימדית באמצעות Nova T600®

המערכת האופטית החדשה מספקת פיתרון למדידת התקנים תלת מימדיים אליהם צפויה התעשייה לעבור בשנים הקרובות

מאת הודעות לעיתונות.
WeSell רשת שותפים

NovaScan T500


רחובות, 11 ביולי 2011 - נובה מכשירי מדידה בע"מ (נאסד"ק: NVMI), ספקית פתרונות מטרולוגיה עצמאיים והחברה המובילה בתחום פתרונות המטרולוגיה המשולבים עבור בקרת התהליכים בשוק המוליכים למחצה, הכריזה היום על מוצר חדשני לבקרת תהליכים במבנים אנכיים מורכבים בטכנולוגיות ייצור של 22 ננומטר ומטה. המערכת החדשה, Nova T600, הינה מערכת מדידה אופטית עצמאית, אשר פותחה בשיתוף פעולה עם יצרני שבבים מובילים, והראתה פריצת דרך מבחינה מטרולוגית במספר פרמרים קריטיים. במהלך בדיקות מקיפות של לקוחות MEMORY ולקוחות FOUNDRY הדגימה המערכת מספר שיפורים משמעותיים לרבות שיפור של פי ארבע ברגישות המדידה של אפליקציות תלת ממדיות.



NovaScan T500

היות ויצרני השבבים ממשיכים לדבוק בחוק מור ולהגדיל את צפיפות הטרנזיסטורים, ארכיטקטורת התהליך עוברת לשימוש גובר במבנים תלת מימדיים מורכבים. מדידה אופטית הנה השיטה המוכרת היחידה לביצוע מדידות לא הרסניות של מבנים אנכיים אלו. מערכת ה- Nova T600 היא הראשונה המאפשרת מדידות אופטיות בשיטת רפלקטומטריה זויתית. קונפיגורצית המערכת, המשלבת רפלקטומטריה זויתית ואנכית, נמצאה אופטימלית במיוחד למדידות על מבנים קטנים.



איתן אופנהיים, סמנכ"ל בכיר אמר כי "אנו רואים חשיבות עליונה בהבאתה לשוק של מערכת המאפשרת בקרה לתהליך ייצור התקנים תלת מימדיים. מעבר זה של התעשיה לאחר 50 שנות ייצור של טרנזיסטורים קונבנציונליים מהווה מהפכה אמיתית ומוצר ה- Nova T600 יאפשר לנו לקחת חלק פעיל במהפכה זו. אנו גאים להציג לשוק את המטרולוגיה החדשנית של נובה, המתווספת לקו המוצרים הרחב שלנו, הנותן פתרון לדרישות הגבוהות והמאתגרות למבנים מורכבים בטכנולגיות ייצור של 22 ננומטר ומטה".




WeSell רשת שותפים

חזרה למגאזין

כל הזכויות שמורות אופלי התשס"ח